为此榨干pa2000光刻机最后的性能,386纳米光源的极限也就差不多了,最多到200纳米。
而六年的时间,准备将氟化氪光源、氟化氩光源装到pa2000上,或者装到我们自己的光刻机上。
130纳米,90纳米,65纳米,45纳米,28纳米,14纳米……
一直到x光终结者光源上线。
漫长的二十年芯片发展计划……
次日,101所激光研究室,小赵老师亲自授课。
“相位差恒定,振动方向一致,就会产生干涉,对吧!”
“当锁定不同激光纵模即频率之间的相位差后,是不是就会将大部分能量集中到干涉增强处?”
“你们看,这是普通未锁定相位的光强时域分布,这是锁定后的!”
小赵老师短短几句话,就给卢怡榕团队打开了新思路,她们急忙拿起笔来计算。
数十分钟后,卢怡榕神色激烈的对小赵老师说:“通过干涉这种方法,可以用多个激光发生器发出干涉,将脉冲宽度压缩到皮秒量级,甚至到亚飞秒量级,功率达到10^9w量级,赵所长,你真的神了!”
赵国庆摇摇头,拿下卢怡榕手上的笔,在纸上画了一个草图。
“这是振荡器,这是展宽器,这是放大器,这是压缩器,伱看光线先展宽、然后放大、再压缩成高功率短脉冲的激光……”
“……”
小卢同学已经麻木了。